半体行业正出现个新现象：制造端、封测端的头部玩，正不约而同地向上游设备域延伸。 赛微电子董事长杨云春创立海创智能装备（烟台）有限公司，业务涉及晶圆键（PB、TB/DB）、薄膜沉积（PVD、PECVD、ALD）、刻蚀（ICP/CCP）、涂胶显影（C/D）等半体工艺装备技术；中芯创始人张汝京通过嘉芯半体...
