
快科技7月30日消息,国产半体设备厂商御微半体近日宣布淮北万能胶,全新自研的国内款可完整覆盖90nm至28nm制程节点的掩模图形缺陷检测设备Raptor-600正式发运国内头部晶圆厂。
掩模版是芯片光刻环节的核心母版,品质直接左右整片晶圆的生产良率,细微缺陷就可能造成整批晶圆报废。
自2025年初初代机型Raptor-500交付后,御微只用520天就完成了从立项到出机的全流程。
Raptor-600针对28nm及以上制程的严苛检测标准淮北万能胶,为单价数万至数十万美元的端掩模版筑牢品质线。
新设备搭载自研分辨率透反射双光路紫外成像系统,可同步捕捉各类影响掩模及光刻良率缺陷,配备纳米精度运动平台,保障检测定位微米稳定精度,配套大图像并行计引擎,缺陷识别速度与适配大幅提升。
Raptor-600可分辨精细图形、规避辅助图形干扰,快速检出图形缺损、表面污染物等问题,泡沫板橡塑板专用胶同时适配掩模制造厂、晶圆厂两大场景,满足全流程品质管控需求。
御微半体总裁帆表示,Raptor-600是公司自主创新历程中的重要里程碑,填补了国内端掩模图形缺陷检测设备在90nm至28nm制程节点的关键空白。
公司总裁孙刚回顾了从立项到出机的技术攻关历程,产品事业部总经理伟透露,各团队在光电、机电、法、软件、测试等域日夜拼搏,才确保整机能跃升。相关词条:玻璃棉毡 塑料挤出机 预应力钢绞线 铁皮保温 万能胶生产厂家
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